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[判断题]
光刻技术的原理和印刷的照相制版相似,即在硅基材料上涂覆光刻胶,接着利用分辨率极高的能量束来通过掩模,对光刻胶层进行选择性曝光。经显影后,在光刻胶层上获得和掩模图像相同的极微细的几何图形,再利用刻蚀等方法在工件材料上制造出微型结构。()
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A.计算机仿真
B.并行工程
C.以上选项都对
D.以上选项都不对
A.能快速并行处理多个生物样品
B.对样品所包含的各种生物信息进行解析
C.由光刻技术和微机电系统加工中所采用的各种方法制成的微型器件
D.是由生物技术加工制作完成,所以叫生物芯片
A、通过电铸从光刻胶三维结构上产生金属母模
B、用光刻的方法在光刻胶上刻出微机械或微器件的三维结构
C、用生产用模作大规模复制
D、用母模通过电铸或塑铸方法复制许多金属的或其它材料的生产用模