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[主观题]
化学机械研磨技术,兼具有研磨性物质的()研磨与酸碱溶液的()研磨两种作用,可以使晶圆表面达到全面性的平坦化,以利于后续薄膜沉积之进行。
查看答案
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A.适用于一些对振动敏感,易热分解或化学分解,很难以机械研磨方式制细的粉体的制备
B.这种方法已经被用于一些无机物和陶瓷粉体材料的制备
C.合成二氧化硅和a氧化铝时使用的超临界流体是一些超临界温度比较高的溶剂如水、乙醇和戊烷等
D.在超临界水中合成二氧化硅和a氧化铝时操作压力在18-60MPa之间,膨胀前温度300-600度,得到晶体的粒度一般为纳米级