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[填空题]
在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的（），经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例（）后映射到硅片上，然后使用（）方法显影，得到刻在硅片上的电路图
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A.光原射出的光束经过棱镜、平镜1和平镜2后，变成平行光射到反光镜上
B.上光源射出的光束经十字线分划板，形成十字像
C.左右摆动反光镜的同时要观察目镜，直至反射回来的亮十字像位于视场中心为止
D.如果反光镜的平面与物镜光轴垂直，返回到分划板的十字像即重合，则证明导轨没
A.将高频电振荡变为高频机械振动
B.增大能量密度，扩大振幅
C.将50Hz的交流电变为15～30kHz的高频交流电
D.冲击工作表面的磨料，把工具的形状复映在工件上
在超声波加工机床上，换能器的作用是()。
A．将高频电振荡变为高频机械振荡
B．增大能量密度，扩大振幅
C．将50Hz的交流电变为高频交流电
D．冲击工件表面上的磨料，把工具形状复映在工件上
在超声波加工机床上，换能器的作用是()。
A．将高频电震荡变为高频机械震动
B．增大能量密度，扩大振幅
C．将50Hz的交流电变为15～30KHz的高频交流电
D．冲击工作表面的磨料，把工具的形状复映在工件上
激光加工是通过一系列装置,把激光聚集成一个极小的光斑(直径只有几微米到几十微米),由于区域小,从而可获得108~1010W/mm2的能量密度,其温度可达()。
A．5000℃
B．50000℃
C．10000℃
D．100000℃
