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[填空题]
实现超精密加工的关键就是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。
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A.不受材料性能限制,几乎所有金属材料和非金属材料都能加工
B.加工时不需用刀具,属于非接触加工,无机械加工变形
C.打孔速度极高,易于实现自动化生产和流水作业
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E.打孔速度不高
A.坐标床面各导轨的直线度超差
B.主轴箱体导轨的直线度超差
C.主轴对坐标床面的垂直度超差
D.工作台或滑座镶条调整不当
E.机床床身刚度不足
F.坐标床画纵横向移动导轨垂直度超差
