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[多选题]
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的(),经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例()后映射到硅片上,然后使用()方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
A.掩模
B.缩小
C.化学
D.物理
E.扩大
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A.掩模
B.缩小
C.化学
D.物理
E.扩大
A.光原射出的光束经过棱镜、平镜1和平镜2后,变成平行光射到反光镜上
B.上光源射出的光束经十字线分划板,形成十字像
C.左右摆动反光镜的同时要观察目镜,直至反射回来的亮十字像位于视场中心为止
D.如果反光镜的平面与物镜光轴垂直,返回到分划板的十字像即重合,则证明导轨没
A.将高频电振荡变为高频机械振动
B.增大能量密度,扩大振幅
C.将50Hz的交流电变为15~30kHz的高频交流电
D.冲击工作表面的磨料,把工具的形状复映在工件上
在超声波加工机床上,换能器的作用是()。
A.将高频电振荡变为高频机械振荡
B.增大能量密度,扩大振幅
C.将50Hz的交流电变为高频交流电
D.冲击工件表面上的磨料,把工具形状复映在工件上
在超声波加工机床上,换能器的作用是()。
A.将高频电震荡变为高频机械震动
B.增大能量密度,扩大振幅
C.将50Hz的交流电变为15~30KHz的高频交流电
D.冲击工作表面的磨料,把工具的形状复映在工件上
激光加工是通过一系列装置,把激光聚集成一个极小的光斑(直径只有几微米到几十微米),由于区域小,从而可获得108~1010W/mm2的能量密度,其温度可达()。
A.5000℃
B.50000℃
C.10000℃
D.100000℃